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朝陽MKS氣體流量控制器649A-28238流量計He 50Sccm

簡要描述:深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司供應(yīng)美國真空計流量計真空泵分子泵激光器MKS氣體流量控制器649A-28238流量計He50SccmINFICON皮拉尼PSG500、PSG502-S、PSG510-S和PSG512-S型標(biāo)準(zhǔn)真空計采用當(dāng)今市場上的數(shù)字皮拉尼技術(shù)

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2025-03-19
  • 訪  問  量:533
詳情介紹

深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司供應(yīng)美國真空計流量計真空泵分子泵激光器MKS氣體流量控制器649A-28238流量計He 50Sccm


INFICON 皮拉尼PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S型標(biāo)準(zhǔn)真空計采用當(dāng)今市場上的數(shù)字皮拉尼技術(shù)。 不銹鋼傳感器單元堅固耐用,結(jié)構(gòu)設(shè)計緊湊,適用于半導(dǎo)體系統(tǒng)和標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用,例如前級真空管。

益處

  • 輕松一鍵調(diào)節(jié) ATM 和 HV
  • 節(jié)省空間的堅固設(shè)計
  • 鋁質(zhì)殼體
  • 可在任意方向安裝
  • 不銹鋼測量單元,帶金屬密封饋入裝置
  • 便于集成的對數(shù)信號輸出
  • 螺紋接頭,具有 10 巴過壓能力
  • 250 °C 烘烤型
  • 在腐蝕應(yīng)用中可選購鎳絲
  • 陶瓷饋入裝置,適用于腐蝕性的應(yīng)用 (PSG510 & PSG512)
  • 可選設(shè)定點
  • RoHS 合規(guī)
典型應(yīng)用
  • 高真空電離真空計控制
  • 前級真空壓力監(jiān)控
  • 真空系統(tǒng)中的安全電路
  • 高真空和低真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

類型

PSG500 tungsten PSG500-S tungsten, setpoints PSG502-S nickel, setpoints PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
測量原則 thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani
精度 (N2)
1 x 10-3… 100 毫巴 % of reading ±15% ±15% ±15% ±15% ±15%
5 x 10-4… 1 x 10-3 毫巴 % of reading ±50% ±50% ±50% ±50% ±50%
100 … 1000 毫巴 % of reading ±50% ±50% ±50% ±50% ±50%
可重復(fù)性(空氣)
1 x 10-3… 100 毫巴 % of reading 2% 2% 2% 2% 2%
輸出信號(測量信號)
電壓范圍 V 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3
測量范圍 V +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0
測量范圍(空氣、O2、CO、N2) mbar 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000
設(shè)定點
設(shè)定點數(shù)量 2 2 2 2
設(shè)置范圍 mbar ? 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500
滯后 % of reading ? 10% above lower threshold 10% above lower threshold 10% above lower threshold 10% above lower threshold
繼電器觸點 V (dc)                                             A (dc) ? 30 30 30 30
繼電器觸點: 轉(zhuǎn)換時間 ms ? <20 <20 <20 <20
電源電壓
真空計上 V (dc) +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30
波紋 V (p-p) ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
電壓與壓強(qiáng) logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade
內(nèi)部容積
DN 16 ISO-KF,DN 16 CF-R,7/16-20 UNF cm3 (in.3) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092)
DN 16 ISO-KF & DN 16 CF-R 長管 cm3 (in.3) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61)
1/8'' NPT,4 VCR,8 VCR,1/2'' 管 cm3 (in.3) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122)
容許溫度
運(yùn)行 °C +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60
真空連接 (1) °C 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2)
貯存 °C -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65
重量
DN 16 ISO-KF,7/16-20 UNF g 80 80 80 80 80
DN 16 CF-R,4 VCR g 100 100 100 100 100
1/8'' NPT,1/2'' 管 g 70 70 70 70 70
8 VCR,DN 16 ISO-KF 長管 g 130 130 130 130 130
DN 16 CF-R 長管 g 140 140 140 140 140
錯誤信號 V 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture)
輸出電阻 ? 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7
*小負(fù)載電阻 k? 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof
反應(yīng)時間 ms 80 80 80 80 80
真空計識別 k? 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common
調(diào)整 one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment
電流消耗 mA <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current)
功耗 W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
電氣連接 FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male
傳感器電纜 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding
電纜長度 m ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2)
暴露于真空的材料 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435 AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
單絲 W W Ni W Ni
容許壓力 bar (absolute) 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases
安裝定位 any any any any any
保護(hù)等級 IP40 IP40 IP40 IP40 IP40



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